六氯乙硅烷是一種無(wú)機(jī)化合物,化學(xué)式為Si2Cl6,可以看成一種硅的氯化物。它是一種無(wú)色液體,在潮濕空氣中發(fā)煙。它在用作化學(xué)試劑和合成硅單質(zhì)的揮發(fā)性前體及芯片行業(yè)。 中文名 | 六氯乙硅烷 | 熔 點(diǎn) | -1 ℃ | 外文名 | Hexachlorodisilane | 沸 點(diǎn) | 144 ℃ | 化學(xué)式 | Si2Cl6 | 水溶性 | 反應(yīng) | 分子量 | 268.88 | 密 度 | 1.562 g/cm3 | CAS登錄號(hào) | 13465-77-5 | 外 觀 | 無(wú)色液體
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